AFM/SPM Tip Check & Nioprobe Calibration

AFM/SPM Tip Check

 Tip Checkは、チッププローブのシャフトの検査及びチップの破損の検出等に使用されます。反転画像を活用することで、素早く簡易に、SEM検査をせずにチップの評価が可能です。

AFM/SPM Tip Check

1. このTip Checkの表面画像は、破損が無いシャープなSiNコンタクトモードチップによって得られました。特徴である滑らかで平らな面、はっきりとした断面と先端、そして形状的画像(左図)と横力マップ(右図)との一致が見られます。

AFM/SPM Tip Check

2. 使用されていたやや磨耗したチップにより得られた画像。形状的特長はまだ顕著に現れていますが、明確ではありません。横力マップが画像上変化しました。チップが破損した形跡はありません。

AFM/SPM Tip Check

3. 鈍化したチップにより得られた画像。1の画像と比較し、横力画像(右図)は丸みを帯び始めています。

AFM/SPM Tip Check

4. 新しい破損の無いチップから得られた画像の別例

AFM/SPM Tip Check

5. もしチップが破損したり、大きく磨耗した場合、球状に近くなるか平らになります。新しいチップは使用するにつれ精度が悪くなり、4の画像から徐々に画質が低下していきます。

AFM/SPM Tip Check

6. この画像は、欠陥のあるチップによって得られました。画像に望ましくない現象が現れる結果となり、チップ先端は刻み目が付けられることを示唆します。




Nio Probe


<Nio Probe>
AFM/SPM Tip Check & Nioprobe Calibration


 Nio Probeは、チッププローブの先端形状を正確に検査するために使用されます。Nio Probeフィルムの表面は、小さな尖端が高密度で配置された構造になっています。これにより、微細な圧力で動作する精密なAFMに大変適しています。尖端の半径は5nm未満(他のどんなものにも劣らない鋭さ)です。フィルムは、シリコンチップ上にマウントされて提供されます。

Cat No.品名価格(¥)
SU101AFM/SPM Tip Check Calibration54,000
SU102AFM/SPM Nio Probe Calibration







SPM, AFM, SEM , FIB標準試料



メトロチップ顕微鏡較正スタンダード


メトロチップ


 走査型電子顕微鏡、集束イオンビーム、原子間力顕微鏡、光学顕微鏡、計量システム用メトロチップ顕微鏡較正スタンダードは、100nm範囲まで較正できる周期特徴を持ち、幅広いターゲット範囲を提供します。スタンダードは、長いライフタイムを有し、安定した較正プラットフォームを提供するよう設計されており、厚さ750um、20×20mmのチップ上に提供されます。分析SEMに対し、最小の帯電で高いコントラストの画像を提供し、4mm~100nmまでの広い較正範囲を統合します。SEMの様相の較正ターゲットには、位置合わせマーク、線形マイクロスケール、歪み計測、近軸較正(画像シフト)、解像度計測、焦点スター、非点収差補正、回折格子、同心円及び同心四角が含まれます。一つのスタンダードにおけるこれらのターゲットのコンビネーションが、メトロチップをSEM・FIB・FESEMの補正確認及び設定に対する完全なスタンダードとして理想的な製品にしています。光学顕微鏡及びAFMにも用いられています。線形性、歪み及び走査長さを確認する多数のターゲットが存在します。詳しい資料をご希望の際は、ご連絡ください。

Cat No.品名価格(¥)
S0849メトロチップ176,000






HSシリーズAFM用較正スタンダード


HSシリーズAFM用較正スタンダード




 ステップ高さ 20nm, 100nm, 500nm。
 HSシリーズ較正スタンダードは、簡単で信頼性のあるAFMシステムの較正方法を提供します。スタンダードは正確なZ軸較正用に設計されましたが、40~100um範囲の大きなスキャナーのX,Y軸の較正にも使用できます。左右対称構造により、X軸較正とY軸較正の間サンプルを回転したり、再調整する必要なく作業が可能です。

 HSシリーズは、5×5mmシリコンチップ上の二酸化シリコン構造体配列が特徴です。製作プロセスは、構造の優れた均一性をチップ全域で確かなものにします。

 1×1mmの大きなスクエアには、10umピッチで四角柱と穴があります。500×500umの中心のスクエアには、5umピッチで円柱と穴及びXとY軸方向の線があります。高さ精度はSU134-20: ±2%、SU134-100: ±3%、水平のピッチ精度は5um及び10umパターン共に±100nmです。

Cat No.ステップ高さマウントタイプ価格(¥)
SU134-2020nm12mm AFMディスク60,000
SU134-20UNUnmounted
SU134-100100nm12mm AFMディスク
SU134-100UNUnmounted
SU134-500500nm12mm AFMディスク
SU134-500UNUnmounted






CS AFM用XYZ較正スタンダード


CS AFM用XYZ較正スタンダード




 CS AFM用XYZ較正スタンダードは、AFMシステムの較正をナノレベルまで行うことができる新型のXYZ較正グリッドを備えます。XYZ較正スタンダードは5×5mmシリコンチップ上の二酸化シリコン構造体配列が特徴です。較正領域はチップの中間で、AFMの光学システムで容易に位置決めができます。ステップ高は約20nmです。

 CSスタンダードには3種のX-Y配列があり、高さは全て約20nmです。一番大きい1×1mmスクエア領域には10umピッチで四角形の柱と穴があります。中ぐらいの大きさのスクエアには円柱と穴及び線が5umピッチであります。一番小さい中心のスクエアには500nmピッチで丸い穴があります。

 CSスタンダードは水平及び垂直方向両方のAFMスキャナー較正に適しています。左右対称構造により、X軸較正とY軸較正の間サンプルを回転したり、再調整する必要なく作業が可能です。

 垂直方向の精度は2%(±0.4nm)です。水平方向のピッチの精度は、5um及び10umパターンともに0.1umです。500nmピッチ部分の精度は10nmです。CSスタンダードはφ12mmAFMディスク上に高品質導電エポキシ樹脂を使用してマウントされています。

Cat No.ステップ高さマウントタイプ価格(¥)
SU13520nm12mm AFMディスク156,000


AFM/STM用試料ディスク

AFM/STM用試料ディスク

 AFM用の高品質磁性ステンレス(SUS430)ディスクです。エッヂは滑らかで表面は全面に渡りフラットです。厚み約0.76mmです。

Cat No.ディスク径(mm)枚数価格
G31101250¥7,500
G311115
G311220¥15,000




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