SEM用分解能測定試料
＜カーボン上 金蒸着＞
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| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S168 | 5-150nm |
| S168U | 5-150nm (Unmounted) |
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| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S1969 | 3-50nm |
| S1969U | 3-50nm (Unmounted) |
| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S1987 | <1-30nm |
| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S168Z | Low Kv Au-C <30-500nm |
| S168UZ | <30-500nm Unmounted |
＜カーボン上 錫球＞
| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S1967 | Sn-C <10-100nm |
| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S1988 | Low Kv Sn-C <20-400nm |
| Cat No. | タイプ |
|---|---|
| S1937 | Universal Sn-C <5nm-30μm |
| S1937U | Unmounted |
商品イメージ:S1937
非点補正用
1000mesh TEM Cu Gridに鋭角な金粒子が蒸着されており、クリアー・シャープ・ハイコントラスト像により容易に非点補正が可能です。商品イメージはこちらをクリック
| Cat No. | 試料 |
|---|---|
| S1968 | Prickly Pelco Gold |
| S1968U | Unmounted |
- 試料はφ12.5mmピンスタブにマウントされています。(Unmounted,S1937T,S145は除く)
試料のコンタミネーションを避けるため、G3688 ピンスタブ用デシケーターでの保管をお薦め致します。
Hitachi／JEOL用スタブ(φ10／φ12.5／φ15mm)をご希望の場合はご指定ください。
標準試料各種
SEM用Chessy試料
Chessy試料は、SEMの標準試料として用いられるもので、20倍から50,000倍までの倍率で有効であり、像のゆがみの検定にも使用できます。シリコン上に160万個以上の金の正方形で構成され、5×5mmの正方形の領域に4つ折りのチェッカーボードパターンが形成されています。パターンは、電子ビームリソグラフィー技術を使用して、直接レジストに書き込まれます。試料全体のサイズは10×10mmです。最小のチェッカーボードサイズは10×10μm(最小の正方形は1×1µm)です。これらは100×100μmのチェッカーボードを形成し、さらに、これらが1×1mmのチェッカーボードを形成します。最後に、これらの正方形が同様の方式で5×5mmの正方形の領域に配置されます。
シリコンフリーム厚: 525μm ± 25μm
金パターン厚: 100μm
| Cat No. |
|---|
| S171 |
シリコンテスト試料
1umピッチグリッド付きシリコンテスト試料は、100倍～10,000倍の範囲での倍率較正及び画像歪みチェックに非常に有用です。SEM、オージェ電子分光、二次イオン質量分析、集束ビーム、光学顕微鏡(反射光)に使用できます。試料は、直接シリコンテスト試料に載せることができるので、画像の中で正確な内部較正が行えます。特に粉末を扱う時に適しています。試料はNISTスタンダードに対し個別に認定されています。
証明書サンプル: ⇒S1934
試料の保管については真空デシケーターをお薦め致します。試料をマウントする試料台はこちらよりお選びください。又、Unmountedタイプもございます。製品説明及び拡大図はこちらをクリックしてください。
| Cat No. | マウントタイプ |
|---|---|
| S1934 | 試料のみ又は マウントタイプ(A～Q) をお選びください。 |
多元素標準試料／合金標準試料 ＜ユーザー選択＞
ユーザーの必要に応じて選択可能な多数の元素と化合物の一覧表はこちらをクリックしてください。φ32mm又はφ25mmの試料台に55種類までの標準試料を装着できます。試料は250nmのダイヤモンドによって磨き上げられ、カーボンコーティングされております。
特定の組成（鉄、ステンレス、非鉄金属やガラス製など）の合金試料も多数ございます。これらは、ヨーロッパ、アメリカ、及びイギリスの標準に則っています。
価格／納期についてはお問い合わせください。
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BSE標準試料
BSE検出器が装備されている電子顕微鏡は、原子番号の違いによりコントラストの付いた画像を得ることが出来ます。この手法のための標準試料として4種類利用可能です。それぞれ、原子番号が1だけ違う2つの元素から構成されており、コントラストがある真鍮基板の上に並んでマウントされています。真鍮基板のサイズは直径5mm×高さ5mmになります。
↓ クリックすると画像が表示されます。
S1950
S1951
S1952
S1954
| Cat No. | 品名 |
|---|---|
| S1950 | BSE reference, copper/nickel Z=(29-28) |
| S1951 | BSE reference, silver/palladium Z=(47-46) |
| S1952 | BSE reference, gold/platinum Z=(79-78) |
| S1954 | BSE reference, aluminium/silicon Z=(13-14) |
BSE標準試料セット
カーボン、Duplex試料、ファラデーカップ、上記4原子番号参照標準試料のセットです。φ30×5mm カーボンブロックにセットされています。
| Cat No. |
|---|
| S1955 |
Duplex試料
非常に感度の高い試料として、平均原子番号の違いが僅か0.1の銅と亜鉛の合金試料があります。画像の明るい領域は平均原子番号29.47であるのに対し、暗い領域の平均原子番号は29.37です。試料はφ5×5mmの真鍮チューブにマウントされています。
| Cat No. |
|---|
| S1953 |
粒子分析標準試料
粒子分析標準試料は、グレーレベルを反射電子に設定することを可能にします。カーボン、コバルト、ロジウム、金がセットされた試料は、φ13mm アルミピンスタブにマウントされています。
| Cat No. |
|---|
| S1956 |
X-CHECKER
モニターエネルギー分散型分光器／SEMシステム。X-CHECKERは、SEMにおけるEDSのX線システムの性能監視を補助する較正試料です。X-CHECKERにより、検出器の分解能及び較正の確認、検出器ウィンドウの汚染テスト、低い検出感度の監視、ご使用のEDSシステムの較正が可能です。
S0850Aは、薄いウィンドウ及びウィンドウの無い検出器の低い性能を、より高感度で監視できるボロンナイトライドが追加されます。さらに、S0850Bはフッ素K-アルファピーク(低分解能計測の業界標準)での分解能テストのためにフッ素源がプラスされており、また、低い検出性能の最終テストのためのBe half Gridが追加されます。
※こちらよりマウントタイプ(アルミ試料台)お選びください。
又、試料のみの選択も可能です。試料は真空デシケーターでの保管をお薦め致します。
| Cat No. | 試料種類 |
|---|---|
| S0850 | Mn, Cu, C, Ni (400,1000mesh Grid) |
| S0850A | Mn, Cu, C, Ni (400,1000mesh Grid), BN |
| S0850B | Mn, Cu, C, Ni (400mesh Grid), BN, F, Be (Half Grid) |